Кремниевые слитки
Мы производим кремниевые слитки диаметром от 2 до 8 дюймов электронного качества в количестве более 200 000 кг в год.
Основные параметры кремниевых слитков
| Метод выращивания | CZ |
| Тип / лег. примесь | N-тип /Фосфор, Сурьма, Мышьяк; P-тип /Бор |
| Диаметр | от 2″ (50мм) – до 8 (200мм) |
| Ориентация | (100), (111), (110) |
| У.Э.С. | 0,001 – 140 Ом*см |
| Содержание кислорода | стандартно <10*1017 ат/cм3 (<20ppma) (по указанию заказчика (7-9)*1017 aт/cм3 (14-18 ppma) |
| Содержание углерода | стандартно <10*1016 ат/cм3 (<2ppma) по указанию заказчика <5*1016 ат/cм3 (<1ppma) |
| Плотность дислокация | <10cм-2 |
