Кремниевые пластины
Мы производим кремниевые пластины электронного качества диаметром от 2″ до 6″ в количестве до 500 000шт в год.
Также мы имеем возможность производить полированные пластины квадратной и псевдоквадратной формы по спецификации заказчика.
Основные параметры пластин электронного качества соответствуют стандарту SEMI M1-00.
Основные параметры кремниевых пластин
| Тип / лег. примесь | N-тип /Фосфор, Сурьма, Мышьяк. P-type /Бор | |||
| Диаметр | 50.8мм, 76.2мм, 100мм, 125мм, 150мм | |||
| Точность диаметра | минимум ±0,3мм, стандартно ±0,5мм | |||
| Ориентация | (100), (111), (110) | |||
| У.Э.С. | 0,001 – 140 Ом*см | |||
| Отклонение толщины от номинала в партии |
|
|||
| Прогиб |
|
|||
| Поверхность | Резанная, шлифованная, травленная, одно и двухсторонне полированная | |||
| Содержание кислорода | стандартно <10*1017 ат/cм3 (<20ppma) по указанию заказчика (7-9)*1017 aт/cм3 (14-18 ppma) |
|||
| Содержание углерода | стандартно <10*1016 ат/cм3 (<2ppma) по указанию заказчика <5*1016 ат/cм3 (<1ppma) |
