Кремниевые пластины

Мы производим кремниевые пластины электронного качества диаметром от 2″ до 6″ в количестве до 500 000шт в год.

Также мы имеем возможность производить полированные пластины квадратной и псевдоквадратной формы по спецификации заказчика.

Основные параметры пластин электронного качества соответствуют стандарту SEMI M1-00.

Основные параметры кремниевых пластин

Тип / лег. примесь N-тип /Фосфор, Сурьма, Мышьяк.  P-type /Бор
Диаметр 50.8мм, 76.2мм, 100мм, 125мм, 150мм
Точность диаметра минимум ±0,3мм, стандартно ±0,5мм
Ориентация (100), (111), (110)
У.Э.С. 0,001 – 140 Ом*см
Отклонение толщины
от номинала в партии

 
диаметр 50,8 мм
диаметр 76,2 мм
диаметр 100 мм
диаметр 125 мм
диаметр 150 мм

Минимальное:
5 мкм
5 мкм
5 мкм
8 мкм
15 мкм

Стандартное:
10 мкм
10 мкм
15 мкм
15 мкм
20 мкм

Прогиб

 
диаметр 50,8мм
диаметр 76,2мм
диаметр 100мм
диаметр 125мм
диаметр 150мм

Минимальное:
20 мкм
25 мкм
30 мкм
35 мкм
50 мкм

Стандартное:
25 мкм
30 мкм
35 мкм
40 мкм
60 мкм

Поверхность Резанная, шлифованная, травленная, одно и двухсторонне полированная
Содержание кислорода стандартно <10*1017 ат/cм3 (<20ppma)
по указанию заказчика (7-9)*1017 aт/cм3 (14-18 ppma)
Содержание углерода стандартно <10*1016 ат/cм3 (<2ppma)
по указанию заказчика <5*1016 ат/cм3 (<1ppma)

 

Акции и спецпредложения

все спецпредложения

Новости

13 / 11 / 2018
Пролог Семикор принял участие в XI Международной выставке «Энергоэффективность. Возобновляемая энергетика-2018»
 Компания Prolog Semicor приняла участие в ежегодной ХI Международной специализированной
10 / 11 / 2018
Компания Пролог Семикор получила престижную бизнес-награду «Лидер года 2018»
 По результатам ежегодного независимого исследования украинского рынка предприятие Пролог
05 / 11 / 2018
6-8 ноября “Пролог Семикор” примет участие в ХI Международной выставке «Энергоэффективность. Возобновляемая энергетика-2018»
 6-8 ноября в г. Киеве в Международном выставочном центре (Броварской проспект, 15) состоится
30 / 10 / 2018
Компания «Пролог Семикор» приняла участие в Первом форуме регионов Украины и Республики Беларусь в Гомеле
 В период с 25 - 26 октября 2018 компания «Пролог Семикор» приняла участие в Первом форуме
все новости
0

Заказ