Кремнієві пластини

Ми виробляємо кремнієві пластини електронної якості діаметром від 2 “до 6” в кількості до 500 000шт на рік
Також ми маємо можливість виробляти поліровані пластини квадратної і псевдоквадратной форми по специфікації замовника.
Основні параметри пластин електронного якості відповідають стандарту SEMI M1-00.
Основні параметри кремнієвих пластин.
Тип / лег. домішка |
N-тип / Фосфор, Сурма, Миш’як. P-type / Бор |
||
Діаметр |
50.8мм, 76.2мм, 100мм, 125мм, 150мм |
||
Точність діаметра |
мінімум ±0,3мм, стандартно ±0,5мм |
||
Оріентація |
(100), (111), (110) |
||
Питомий опір |
0,001 – 140 Ом*см |
||
Відхилення товщини від номіналу в партії |
мінімум – 10 мкм, стандартно 25 мкм |
||
Відхилення товщини по пластині |
діаметр 50,8 мм |
Мінімально: |
Стандартно: |
Прогин |
діаметр 50,8мм |
Мінімально: |
Стандартно: |
Поверхня |
Різана, шліфована, травлена, одно і двосторонньо полірована |
||
Вміст кисню |
<10*1017 ат/cм3 (<20ppma) |
||
Вміст вуглецю |
<10*1016 ат/cм3 (<2ppma) |