Кремнієві зливки

Метод вирощування

CZ

Тип/лег. домішка

N-тип / Фосфор, Сурма, Миш’як; P-тип / Бор

Діаметр

від 2″ (50мм) – до 8″ (200мм)

Орієнтація

(100), (111), (110)

Питомий опір

0,001 – 140 Ом*см

Вміст кисню

<10*10¹⁷ ат/cм³ (<20ppma)
за вимогою замовника (7-9)*10¹⁷ aт/cм³ (14-18 ppma)

Вміст вуглецю

<10*10¹⁶ ат/cм³ (<2ppma)
за вимогою замовника <5*10¹⁶ ат/cм³ (<1ppma)

щільність дислокацій

<10cм^-2