Кремнієві пластини

Тип / лег. домішка

N-тип / Фосфор, Сурма, Миш’як. P-type / Бор

Діаметр

50.8мм, 76.2мм, 100мм, 125мм, 150мм

Точність діаметра

мінімум ±0,3мм, стандартно ±0,5мм

Оріентація

(100), (111), (110)

Питомий опір

0,001 – 140 Ом*см

Відхилення товщини від номіналу в партії

мінімум – 10 мкм, стандартно 25 мкм

Відхилення товщини по пластині

діаметр 50,8 мм
діаметр 76,2 мм
діаметр 100 мм
діаметр 125 мм
діаметр 150 мм

Мінімально:
5 мкм
5 мкм
5 мкм
8 мкм
15 мкм

Стандартно:
10 мкм
10 мкм
15 мкм
15 мкм
20 мкм

Прогин

діаметр 50,8мм
діаметр 76,2мм
діаметр 100мм
діаметр 125мм
діаметр 150мм

Мінімально:
20 мкм
25 мкм
30 мкм
35 мкм
50 мкм

Стандартно:
25 мкм
30 мкм
35 мкм
40 мкм
60 мкм

Поверхня

Різана, шліфована, травлена,

одно і двосторонньо полірована

Вміст кисню

<10*10¹⁷ ат/cм³ (<20ppma)
за вимогою замовника (7-9)*10¹⁷ aт/cм³ (14-18 ppma)

Вміст вуглецю

<10*10¹⁶ ат/cм³ (<2ppma)
за вимогою замовника <5*10¹⁶ ат/cм³ (<1ppma)